重塑千禧年代 第1426节
深紫外光刻加上自对准四重图案化技术的解决方案是来自英特尔对制造工艺极限的开拓，胡正明与梁孟淞在与英特尔交流合作fi之后基本确认了可行性。 他想了想，又补充道：“考虑到英特尔对工艺节点的划分和实际的晶体管密度，我认为10nm不是duv saqp方案的极限，7nm的可行性也很高。” 就像现在英特尔的14nm与冰芯的16nm，两者归在同一阶段，但前者的晶体管密度是每平方毫米大约3750万，后者的则是3000万，两种工艺存在25%的差距。 同一阶段的节点，英特尔确实更强，由此，英特尔的duv saqp方案在10nm上的拓展或可展望其它厂商的7nm，但这就需要冰芯进一步的研究与优化了。 方卓关切地问道：“英特尔自己做10nm和7nm也都用这个方案吗？” “看他们的意思……”梁孟淞没想到方总会问这样的问题，他停顿思考，答道，“之所以叫它过渡方案就是因为euv的成熟需要解决，英特尔的10nm大概会用这个，7nm怎么也应该引入euv了。” 方卓“啧”了一声。 胡正明忍不住笑道：“还是euv好是吧，方总，有的用就不错了。” “确实，有的用就不错了。”方卓说道，“单就制程工艺这一块，我们的情况没那么差。” 胡正明努努嘴：“是的，这是我们的梁院士辛辛苦苦换来的。” 因为冰芯跨代抢滩了fi的16nm，所以，即便遭遇严厉限制，如今在工艺这一块也能相对从容。 业界如今对于先进工艺的定义已经在以28nm作为分界点，在它之前属于成熟工艺，之后的自然就是先进工艺。 更不用说冰芯的16nm，这是先进中的先进。 也正因为这种先进性，冰芯是不缺订单的，哪怕完全供向国内，也能把产能填满，只是，上限被削弱了。 冰芯过去这些年的快速发展得益于全球市场与供应链的广泛合作，这是一套已经得到验证的行之有效的体系。 但在今后，这套体系放在国内就需要再经验证，因为，大家都不会停下脚步，冰芯仍需往前。 “bis限制美利坚企业对我们的出口，这一块也还行，去美化是我们一直在做的，欧洲和日本厂商能保证竞争力，问题就在于，bis后续追加的措施会怎么扩大范围，一旦全面的限制，那就是一个很严肃很严肃的挑战，我们需要保证我们的最低运转。”邱慈云认真地说道。 方卓沉吟道：“现在是美利坚的出口，未来必然会是美利坚扩展到更大范围，也必然会包括进口，我现在还没有进一步的消息，实在不行，那就先苦一苦兄弟。” 一旦限制范围扩大，冰芯面临的状况就会十分麻烦。 比如，arf光刻胶，这是先进工艺节点不可或缺的核心材料之一，而全球市场是由日企垄断了超90%的份额。 更为关键的是，它是对光敏感的精密化学材料，保质期一般在六个月之内，囤货也不好囤。 一旦冰芯被断供，生产运转就遭受极大的影响。 “中芯冰芯，同气连枝，是吧？”邱慈云打趣道，“必要的时候从兄弟那里拆一拆机器，匀一匀材料，先把难关度过去。” 方卓连连点头，然也，然也。 当然，这话还是调侃居多，冰芯这次面临限制，中芯还不知道后续会有什么状况，它现在是技术不冒头，但要是一拆机器，一匀材料，怕不是立即就冒头了。 “还是得看我们自己有没有，能解决有的问题，慢慢的就都行了。”胡正明说道，“得看芯材那边什么时候能突破，我们这个制程工艺的时间就是留给大家的。” 今天这个情况是早有预期，上下游环节的问题也自然都有详细考虑，芯材公司是由冰芯牵头，与南大光电、芯刻微材料等公司进行光刻胶合作研发的技术子公司，拿到了大基金和小基金的钱，还算有一定的进展。 “辛苦张总了，回头还得看看他的视察情况。”邱慈云说道。 张汝京低调的成了冰芯的顾问，这次面临阿美严选，也就投入到产业链的视察与整合工作之中。 邱慈云又说道：“不管怎么样，我们的工艺是先进的，存货也暂时是够的，虽说供应商的技术支持得重新整备，但冰芯的战斗力还在，反而是……方总，易科的全球市场更大。” 冰芯对于今日情况已有预期，相关工作也一直在做，大小基金、产业整合、技术合作、查缺补漏，虽说确实面临许多问题，但这次的阿美严选有点压力测试的意思，必然会催动一系列工作的加速。 可是，与冰芯并肩战斗的易科，它的庞大市场与产品成绩……可能压力更大。 “人死鸟朝天，不死万万年。”方卓耸耸肩，“大有大的玩法，小有小的玩法，不要担心，做不了世界的易科，那就当国内的诺基亚好了。” 第201章 态度 三月份的第二天，上海下了一场淅淅沥沥的小雨。 春节的气息犹在，元宵还没到来，气温一到晚上也不过就是四五度，又有冷风细雨扑在脸上，难免让人感到寒意。 但张汝京丝毫没有这样的感觉，他匆匆的从一间会议室走进另一间会议室，心里转着的都是当前的状况，既有行业大环境所面临的问题，也有眼前碰见的现实问题。 砰！ 门被一把推开，冰凉的空气卷进办公室让众人不自觉的都皱了皱眉。 张汝京大步走进来，嗓子有些嘶哑地问道：“怎么样了？现在商讨的怎么样？” 没人回答，只有重新弥漫起来的二手烟。 张汝京到了办公桌边也不坐，直接一手按桌，倾着身子的再次说道：“又不是让你们去干euv光刻胶，也不是立即把arf搞好，一边搞，一边建，这就这么为难？” 他这次来上海主要就是为了arf光刻胶研发的事情，如同他自己之前在琴岛搞的大硅片一样，高端光刻胶也是国内比较欠缺的一环。 虽说如今还没波及这个，但冰芯上了名单，后续极可能会被追加更严厉的措施。 芯材公司是由大基金、冰芯、南大光电、晶瑞电材等公司联合成立的技术研究公司，主要目标就是取得arf光刻胶的突破。 只是，但凡需要突破的东西都有难度，arf光刻胶在evu方案还没落地商用的情况下就是最高端的精密化学材料，国内这方面的厂商目前都没什么苗头。 芯材是2012年成立，彼时也费了不少功夫，这个环节的公司们本身存在竞争关系，联合研发存在着利益分配的问题。 张汝京这一趟来之前问了问相关情况，从负责晶圆制造联盟工作的秘书长那边得知，当时是冰芯态度有一点点强硬的推动了这个合作。 冰芯在内地半导体行业里有着相当大的主导权，这既是它本身的技术水平，也是晶圆制造联盟在金融危机后做了不少整合的帮忙。 不管南大光电还是晶瑞电材，它们在内地都绕不开冰芯。 再加上，方总2011年7月份进行了事实上的部分的“同气连枝”整合，冰芯加上中芯更是内地半导体公司绕不开的存在了。 基于这种情况才有了“芯材”的诞生。 从2012年到2015年的现在，芯材专注于arf光刻胶的研究，进度上嘛，还算可以，多次进行了小规模试验，调整的配方比例也在光化学反应性能上有明显的提升。 只是，这种提升还达不到理想的状态，等到走出实验室，扩大到中试规模，工艺流程的工业化适应性评估就出现了问题。 这便没法大脚步的再往下走，况且，后面也有不少关隘，要搞长时间存储稳定性和批次间一致性测试，要做晶圆厂兼容性验证，必须得确保光刻胶和冰芯的生产工艺无缝对接，还得做大量重复性与可靠性测试。 如此这些，最后还要建立稳定的生产工艺，保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致。 “芯材走在了正确的路上。” 这是来自晶圆制造联盟的评价。 可惜，眼下的局面略显急迫。 阿美严选的压力已经施加过来，后续追加措施也隐约可见，鉴于如此形势，冰芯希望“芯材”可以先进行厂区的投资与建设，只要arf出了成果，初期的成本高一些都没问题。 但是，南大光电、晶瑞电材等参与研发的公司不太想同意这样的冒进。 “张总，我们的上一次测试结论已经出来了，现有工艺不适合大规模生产，现在最重要的还是找出问题，看看怎么精细调整配方中的各组分比例，不然没法保持相同的化学性质和光刻性能……这个时候说什么建厂不建厂……”南大光电驻芯材的研发组长李亚磊吞吞吐吐地说道，“不合适啊。” 张汝京一皱眉，没等反驳就听到另一家企业负责人晶瑞电材伍彦杰的声音。 “是啊，张总，咱们这个不适合大上快上，后面做验证的过程里本来就容易存在未知数，我理解冰芯的急切，可是，这事，它急不得啊！”伍彦杰苦口婆心。 张汝京听到这两位的话，又见办公室里的其他人不出声，他缓缓说道：“建厂不耽误你们寻找问题，调整配方，你们搞你们的，现在就是合资建厂，两线并举。” 伍彦杰见老头冥顽不灵，无奈道：“张总，这又不是你的中芯，不能搞大上快上啊，搞不出来合适的产品，厂子没效益，你们财大气粗，我们不行啊。” 中芯当年的发展速度很快，搞出了多地布局的战略，后来随着与台记官司的败诉，又碰见金融危机，不得不割rou收缩。 张汝京没有生气，耐着性子地说道：“形势不一样了，芯材做了两年多，晶圆制造联盟帮忙找资源，冰芯和大基金跟着投钱，那时候可以慢慢搞，现在不知道什么时候就被下绊子，不光你们这，其它的替代公司都是这样，我知道你们的心情，也知道你们各自公司有着自己的想法，但我还是得说，形势不一样了。” 伍彦杰不说话，现在研发的arf主要是冰芯需要，自家的主力业务是在做g线和i线光刻胶，arf固然先进，但是，自家业务先做好才能继续往下展望。 张汝京见没人表态，再次缓缓说道：“如果建厂并行的意见没人同意，大概就是‘芯材’这样联合研发的路子走不通，我也不是逼各位，实在不行，我明天就回合肥复命，这个还必须是冰芯自己下场做，我就不信，人家16nm都搞出来了，世界第一都搞出来了，这材料上面的事搞不定！” 他说着说着又情不自禁的激愤起来。 “哎，哎，张总，你坐，你坐，我们一起研究嘛。”南大光电的李亚磊听到张总这样的表态，出声劝道，“张总，反正我不是那个意思，我只是觉得可以不用那么急，急也未必有用，冰芯就算把‘芯材’买回去，它能做一个arf光刻胶，它能把所有的东西都做了吗？这事还是大家一起的事。” “冰芯能做什么，它就做什么，它能做一个，那就做一个。”张汝京冷着脸，说道，“不行就别加盟，直接改直营。” 李亚磊转了转眼珠，这个说法倒是很形象。 他给了一个稍微强点的表态：“张总，我现在就再打电话，再和公司聊聊这个事，这建在哪，怎么建，研发和生产怎么分……都是事啊。” 办公室里响起一阵应和声，都是事，都是事啊。 张汝京默许了这样的态度，某种程度上，也没错。 只是，当他结束这间办公室里的讨论，给方总打电话时还是难免失望：“芯材这边……真是各有各的小心思！就差没说，是冰芯上了名单，不是他们上名单！” “哎，张总，你看你，度君子之腹了吧。”方卓没有为转述的情况而愤怒，反而笑道，“你这通电话之前，我还接到电话呢，好些个厂商都跟我表态，这次一定和冰芯共进退。” 张汝京立即问道：“都有谁？” 方卓说了几个厂商的名字，又笑道：“他们挺雀跃的，这是机会来了啊，冰芯受限，这必须让备胎转正，大家的机会很多。” 张汝京听着这样的话，叹道：“你也没好到哪去，也没少度君子之腹。” 第202章 果决 张汝京这一趟在上海的工作实在谈不上顺利。 连续数天，即便他已经把话说的很明白，即便他也传递了这是国内企业好机会的态度，但……数家光刻胶公司仍旧踌躇不前。 其实，张汝京也明白大家的考虑，一个是梦想，一个是现实。 现实是，国内的光刻胶和国际先进水平存在很大差距，不要说arf光刻胶了，就连g线和i线光刻胶的自给率都不到20%，而krf光刻胶也不到5%。 基于这种情况，南大光电、晶瑞电材等公司不愿意再投入更多精力和资源，想着聚焦于g线、i线、krf光刻胶也能理解。 可是……看看“芯材”这两年多的研发进展，真的不是没有机会，即便未必能在近期突破，中长期也是有大作为的。 易科系不缺钱，阿美的压力测试一来，自然也会掀起新一轮查缺补漏式的研发。 这样的机会不用好就太可惜了。 当然，最好的还是近期能有所突破，那就能帮上大忙。 张汝京怀揣着这样的心情，一家厂商一家厂商的谈，一个负责人一个负责人的聊，但一直到3月5号又一次攒局开会，仍旧拿不到正向的表态。 5号的下午，他接到来自合肥的电话，得到晶圆制造联盟的通知，已经可以前往琴岛了。 也就是，芯材这边换方案了。